1. 前言

本手冊適用于10萬級無塵車間的日常運維管理，涵蓋高效空氣過濾器（HEPA）更換、清潔標準操作程序（SOP）及維護計劃，以確保潔凈環境符合ISO 14644-1標準。

2. 無塵車間維護等級與標準

10萬級無塵車間要求：

• 懸浮粒子數：≥0.5μm粒子≤3,520,000個/m3

• 換氣次數：15-25次/小時

• 溫濕度控制：溫度20-26℃，濕度45-65%

3. 過濾器更換管理

3.1 HEPA過濾器更換周期

3.2 HEPA更換步驟（SOP）

1. 停機準備：關閉空調系統，佩戴潔凈服、手套、口罩。

2. 拆除舊過濾器：記錄壓差數據，小心拆卸避免揚塵。

3. 安裝新過濾器：檢查密封膠條，確保無泄漏。

4. 檢測驗證：進行DOP/PAO檢漏測試，確認效率達標。

4. 日常清潔SOP

4.1 清潔頻率

4.2 清潔工具要求

• 使用無脫落纖維抹布、防靜電拖把。

• 禁止使用含硅類清潔劑。

5. 月度/年度維護計劃

5.1 月度維護

• 檢查初效/中效過濾器壓差。

• 清潔回風柵、FFU表面。

• 驗證壓差梯度（≥5Pa）。

5.2 年度維護

• 全面更換HEPA過濾器（視檢測結果）。

• 空調系統風量平衡測試。

• 第三方潔凈度檢測（ISO 14644認證）。

6. 記錄與追溯

• 建立《過濾器更換臺賬》《清潔點檢表》。

• 保存DOP檢測報告至少3年。

7. 附錄

• ISO 14644-1 潔凈室標準

• HEPA檢漏測試方法（DOP/PAO掃描）

編制：XXX公司技術部
版本：V1.0
生效日期：XXXX年XX月XX日

注：本手冊需定期評審更新，以適應法規及生產需求變化。